OVS2500-5000新功能介紹

Semicon２０１２ 新檢查系統說明

此次重點

①分割攝像軟體（畫像合成）= 可以不用考慮整體視野，而選擇鏡頭倍率。

②刪除Mapping動作= 可以縮短檢查時間

③設定Recipe等操作性大幅提升，操作簡易= 可以縮短檢查時間

補充

之後即使客戶樣品有多種，不需要做Mapping動作，能夠縮短40秒左右。分

割畫像被調整到現在使用照相機的FPS（幀速率(Frame Rate)30FPS）。攝像時

間是攝像一次（攝像範圍包括重疊（Overlap））

關於分割攝像（畫像合成）軟體

原本一定要在鏡頭視野內設定至少有一個Chip，所以視野的尺寸為優先考

量而導致檢查缺陷時會有限制，不能滿足客戶需求。各個分割的畫像能用

OKANO獨自技術來連接成完整的Chip。之後能夠直接以檢查最小缺陷尺寸為基

準，不用特意選擇鏡頭倍率。

※沒有焦點合成功能，假設鏡頭倍率太高，會發生模糊現象。

刪除Mapping動作

做Mapping動作時，需要換低倍率鏡頭，此時必須攝像整個晶圓，而做檢查

時也需要重複此動作，浪費時間。此後只需攝像一次即可做Mapping動作與檢

查。

關於操作性提升

原本檢查時，需要先做以下設定：學習，檢查領域，感度調整與判定條件

後才能做自動檢查，完成自動檢查後才能做Fine Tuning的動作。

之後只需要用Master攝像就能夠做自動檢查。此自動檢查能做基本檢查而

存取良品與不良品的畫像。

此外，結果能夠用圖表表示，圖表與畫像可以連結，可以設定圖表上的範

圍而挑出畫像，可以用跳出的畫像直接輸入到學習，感度調整與判定條件，

不需要重複做自動檢查。

以上是此次改善的內容。

OKANO 預計，之後會推出新的功能，可以簡單地做 Fine Tuning，而提高檢

查精密度與呈現性。

 

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